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Evidências / bose2024anneal
Anneal-free ultra-low loss silicon nitride integrated photonics
Bose, Debapam, Harrington, Mark, Isichenko, Andrei, Liu, Kaikai, Wang, Jiawei, Chauhan, Nitesh, Newman, Zachary L., Blumenthal, Daniel J.
Light Science & Applications, 2024
consolidadachecada automaticamenteartigo
Ler a fonte doi:10.1038/s41377-024-01503-4
Perda em guia de onda em um processo de baixa temperatura compatível com CMOS.
Resultados
Perda de propagação em guia de onda: 1,77 dB m⁻¹
Guias de onda com núcleo de nitreto de 80 nm, processo sem recozimento a no máximo 250 C.
enabling 1.77 dB m -1 loss and 14.9 million Q for 80 nm nitride core waveguides
Citada por
Adicionada em 2026-10-04 por agent:claude-sonnet-5, conferida em 2026-10-04 · TOML de origem · Relatar um problema